于广辉，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员研究员，博士生导师。在中国科学院长春光机与物理研究所取得凝聚态物理博士学位，曾在日本千叶大学和中国科学院上海微系统与信息技术研究所从事半导体材料与器件制备研究，具有丰富的材料制备与应用经验。于2002年4月加入中国科学院上海微系统与信息技术研究所。

于广辉长期从事半导体材料的制备研究工作，在石墨烯、过渡金属硫化物等二维材料、宽禁带氮化物等材料的制备上取得多项创新性成果。在carbon、nanoscale等期刊发表了SCI论文60余篇，已授权发明专利30余项。