ZEISS显微镜在半导体陶瓷材料中的应用

报告摘要：

随着第三代半导体的发展，应用于第三代半导体的陶瓷材料表征分析也日益重要。本次报告内容包括：1. 如何表征并统计分析陶瓷原粉的形貌以及大小；2.如何使用扫描电子显微镜以及光学显微镜多渠道分析氮化镓等三代半导体材料的缺陷，提高对材料工艺的了解和控制；3. 结合Zeiss特色的显微镜关联技术，对材料或器件的失效点进行精准定位分析，提高失效分析的效率以及结果的可靠性。

个人简历：

    邱婷婷，蔡司RMS部门的资深应用工程师，2017年获得南京航空航天大学硕士学位，2019年加入卡尔蔡司（上海）管理有限公司，在场发射电镜，聚焦离子束显微镜方面拥有丰富经验。拥有超过7年的电镜领域从业经验，精通材料科学、半导体等不同领域的应用。曾为国内超过100多大学、科研机构、企业提供显微镜分析解决方案、技术演示和设备技术支持的工作。