杜广煜 副教授
职称:副教授
专业类别:材料化学
所在单位:东北大学
研究方向:
半导体装备,真空镀膜,真空技术
1980.11,工学博士,机械工程与自动化学院副教授,真空与过程装备系副主任。沈阳市拔尖人才,中国真空学真空冶金专委会副秘书长,表面技术装备学组特聘专家,机械工程学会表面工程分会青年学组特邀专家,国际标准化组织ISO/TC112工作组中方专家委员,Surface and Coating Technology,Acta Metallurgica Sinica,Science China Technological Sciences,《表面技术》,《真空与低温》等国内外杂志编委及审稿专家。近年来主持重点研发计划子课题、国家自然科学基金项目及教育部基本科研业务费等项目,主要参与国防973,重大仪器专项,国家自然科学基金以及其他多项省部级项目。发表学术期刊论文30余篇,其中SCI检索10余篇,EI检索10余篇,获得国家发明专利4项,完成国防报告1份,团体标准1份,参与多项国际及国家标准工作。
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